陈招科
,
熊翔
,
肖鹏
,
李国栋
,
黄伯云
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2007.02.020
利用TaCl5-Ar-C3H6反应体系,用化学气相渗透(CVI)的方法,在炭毡中炭纤维表面沉积TaC.研究了温度对涂层的沉积速率、沉积均匀性、物相组成、微晶尺寸和微观生长形貌的影响.研究结果表明:沉积速率随沉积温度升高先增加后减小,在950℃时达到最大值,在900℃时沉积均匀性最好;在800～1000℃范围内能沉积出结晶度较好的TaC涂层,随着温度升高,微晶尺寸增大;TaC在炭纤维表面为岛状生长模式;随温度升高,岛尺寸先增加后减小,岛扩散能力增强,沉积岛之间相互链接融合.
关键词:
TaC
,
化学气相渗透
,
沉积速率
,
微观生长形貌
