徐国敏
,
赵高扬
,
张卫华
,
邓小翠
,
谭红
,
何力
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.05.013
应用基于原子力显微镜与铁电分析仪联用的方法,在无顶电极的情况下,直接测试了PZT微阵列格点的电滞回线.结果表明,应用铁电分析仪与原子力显微镜联用的测试技术能够表征铁电电容的电滞回线,并且可以定性地评价薄膜微电容的铁电特性.
关键词:
锆钛酸铅
,
铁电薄膜
,
电滞回线
,
微细图形
张黄莉
,
赵高扬
,
薛人中
,
彭海军
稀有金属材料与工程
以苯酰丙酮[BzAc]作为化学修饰剂,采用溶胶-凝胶法合成了含铜的螯合物,研究了含铜螯合物的紫外、红外光谱特性.发现在330 nm处有与含铜螯合物相关的吸收峰,当紫外光照射该凝胶薄膜后,与含铜螯合物相关的吸收峰逐渐变弱,含铜螯合物分解.伴随着螯合物的分解,其凝胶薄膜在有机溶剂中的溶解性迅速降低,从而表现出紫外光感应特性,利用这种光感应特性,可获得该凝胶薄膜的微细图形.再经过500 ℃热处理,得到了具有立方相氧化铜薄膜的微细图形.
关键词:
溶胶-凝胶法
,
含铜螯合物
,
化学修饰
,
微细图形
赵高扬
,
赵桂荣
功能材料
以硅为代表的半导体的微细加工技术已达到了亚微米甚至纳米级的水平,而沿用半导体微细加工技术的功能薄膜的微细加工则远达不到这样的水平,其主要原因之一是由于功能薄膜通常含有多种化学组元,各种元素的抗蚀能力不同,与硅半导体相比,微细图形制备具有更大的难度.本研究结合功能薄膜的特点,研究了感光溶胶-凝胶技术,在薄膜的制备过程中就考虑到薄膜的微细加工.这种方法充分利用了溶胶-凝胶法可精确调控薄膜成分、按照需要对薄膜的结构进行化学裁剪的特点,用化学修饰法赋予薄膜以感光特性,利用薄膜自身的感光特性制备微细图形,简化了薄膜微细图形制备流程,并可以获得具有亚微米级的功能薄膜阵列或二维格子,在光电子或微电子领域有重要应用前景.
关键词:
微细图形
,
功能薄膜
,
感光性
,
阵列
,
溶胶一凝胶法
张黄莉
,
赵高扬
,
彭海军
,
刘晓梅
材料导报
高温超导薄膜具有良好的物理性能,其微细图形在微电子器件中有非常广泛的应用.概述了高温超导薄膜微细图形的制备工艺及研究进展,重点介绍了高温超导薄膜微细图形制备方法中的光刻法、改性工艺、耐熔微掩膜制备法和Sol-gel法与化学修饰法相结合的基本原理、工艺特点及最新研究进展.首次把Sol-gel法与化学修饰法相结合制备薄膜的微细图形的工艺用于高温超导薄膜微细图形的制备中.
关键词:
高温超导薄膜
,
微细图形
,
溶胶-凝胶法
,
化学修饰
赵高扬
,
张黄莉
,
薛人中
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2006.z2.010
以甲醇为溶剂,二乙烯三胺为络合剂,醋酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备了含钇螯合物凝胶薄膜.研究了这种凝胶膜的紫外、红外光谱特性,发现了在330 nm处有与含钇螯合物相关的吸收峰,这种凝胶薄膜对紫外光具有感光特性,即当紫外光照射薄膜后,含钇螯合物相关的吸收峰逐渐变弱,含钇螯合物分解.伴随着螯合物的分解,薄膜在有机溶剂中的溶解性会发生显著变化,利用这种特性,紫外光通过掩膜照射凝胶薄膜,用有机溶剂溶洗后获得凝胶薄膜的微细图形;经过600 ℃热处理30 min,得到了具有立方相氧化钇薄膜的微细图形.
关键词:
溶胶-凝胶法
,
含钇螯合物
,
化学修饰
,
微细图形
石芬
合成材料老化与应用
以醋酸镍为原料，乙二醇甲醚为溶剂，苯酰丙酮为化学修饰剂，采用溶胶-凝胶法与化学修饰法相结合的方法制备感光性氧化镍基溶胶及凝胶膜，利用紫外-可见光分光计和红外光谱仪等手段对凝胶膜进行分析表征，结果表明：此凝胶膜具有紫外感光特性。利用其感光特性，可以对NiOx凝胶膜进行微细加工。采用掩模法以紫外光为曝光光源对NiOx凝胶膜进行微细加工，结果表明此凝胶膜具有良好的微细加工特性。同时，还可采用无掩模的激光干涉技术，利用氪离子激光器双光束一次曝光工艺制备了线密度为1200 l/mm的光栅。
关键词:
溶胶-凝胶法
,
含镍螯合物
,
感光性
,
化学修饰
,
微细图形
张卫华
,
赵高扬
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2004.02.027
以甲醇为溶剂,硝酸氧锆、硝酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶方法,通过引入化学修饰剂乙酰丙酮(AcAcH),使乙酰丙酮和锆离子形成螯合物,得到了具有紫外光感光性的溶胶及其凝胶薄膜,提出了YSZ薄膜的微细图形加工新方法.UV-Vis.分光光度计的紫外光谱测试结果表明:乙酰丙酮与锆离子形成的螯合物在室温、可见光、大气环境下,可以存在于凝胶薄膜中,并具有较好的热稳定性和光化学稳定性,其紫外光谱的特征吸收峰大约在310nm附近;325nm紫外激光光源照射凝胶薄膜,能破坏、分解凝胶薄膜中的这种螯合物结构,使凝胶薄膜的物理化学性质发生变化,实验发现,经过紫外激光照射的凝胶薄膜在适当的有机溶剂(如甲醇等)中的溶解度和溶解速度显著降低,利用这一特性,采用325nm紫外激光通过掩膜照射凝胶薄膜,并在适当的有机溶剂中溶洗掉未受照射的区域,经过800℃,20min热处理,得到了具有微细图形的YSZ薄膜,XRD测试表明该薄膜相结构为立方相.
关键词:
氧化锆薄膜
,
溶胶-凝胶
,
感光性
,
微细图形
张卫华
,
袁媛
,
石春梅
,
赵高扬
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2008.05.005
采用改进的化学修饰的溶胶-凝胶工艺,以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为薄膜开裂抑制剂,以乙酰丙酮为化学修饰剂,利用乙酰丙酮可以与金属盐形成的配位螯合物的特性,制备了具有紫外光感光特性的钛酸锶钡(Bao.8Sr0.2TiO3)前驱溶胶及其凝胶薄膜;结合直接感光法,首先制备图形化凝胶薄膜,再通过后续热处理,在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上最终得到了具有钙钛矿结构的钛酸锶钡图形化薄膜,其图形厚度约为793nm,相对介电常数约为600,介电损耗约为0.03.
关键词:
BST薄膜
,
感光性
,
微细图形
,
溶胶.凝胶工艺
张黄莉
,
赵高扬
,
彭海军
无机材料学报
以甲醇为溶剂,以醋酸铜、醋酸钇和醋酸钡为起始原料,二乙烯三胺、三氟乙酸、丙烯酸为添加剂,采用溶胶 凝胶法制备了具有紫外感光性的YBCO溶胶及其凝胶薄膜,其紫外吸收峰在250nm附近,对应于铜络合物的电子跃迁吸收,随着紫外光的照射,其峰值逐渐降低,凝胶在有机溶剂中的溶解性也发生变化,显示了凝胶薄膜的紫外感光性.基于这一特性,本文提出了一种YBCO 超导薄膜图形制备新方法,即利用凝胶薄膜自身的紫外感光性,使紫外光通过掩模照射薄膜,然后在甲醇中溶洗,进一步热处理,得到了YBCO超导薄膜图形.结果表明,图形化的YBCO薄膜具有较强的c轴取向,超导转变温度TC达到92K.
关键词:
YBCO
,
溶胶-凝胶
,
感光性
,
微细图形
