韩伟
,
肖思群
中国材料进展
doi:10.7502/j.issn.1674-3962.2013.12.02
简单介绍了聚焦离子束（ FIB）的历史和工作原理，以及将离子束和电子束合为一体的双束系统。具体讨论了双束系统上的主要功能，如离子束镜筒、气体注入系统（ GIS）、超高分辨率的扫描电镜镜筒及将离子束和电子束合为一体的独特优势。例举了双束系统的一系列应用，如制作纳米图形用的多种加工方法，气体注入系统在制作纳米图形中的应用，透射电镜及原子探针的样品制备，三维形貌表征，三维能谱成分表征，三维 EBSD 晶体位相表征和电路修补。详细介绍了这些相关应用的发展现状及特点，比较了各种应用的优缺点。文章还介绍了在中国科研领域双束系统的应用状况及中国科研工作者利用双束系统获得的重要成果。
关键词:
聚焦离子束
,
气体注入系统
,
微纳图形加工
,
三维表征
