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溅射法制备Al/Pb金属多层膜

郭诗玫 , 孙勇 , 王闸

电镀与涂饰 doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2006.09.006

通过直流二极溅射法制备了具有不同调制波长和周期的Al/Pb金属多层膜.分别通过扫描电镜、X-射线衍射试验以及能谱对多层膜的表面形貌、断面形貌、结构和组成进行了分析.结果表明,所制备的Al/Pb纳米多层膜既无新相生成也无非晶相产生;在亚微米尺寸范围内,铝和铅的微粒分布均匀;在纳米尺寸范围内,形成了Pb对Al的包覆.

关键词: 直流溅射 , Al/Pb纳米金属多层膜 , 微粒分布 , 纳米尺寸