王利霞
,
何秀丽
,
高晓光
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.04.002
针对二氧化钒微测辐射热计在红外吸收型气体检测方面的应用,采用微电子机械系统(MEMS)体硅工艺制备了二氧化钒微测辐射热计,重点对关键工艺进行了研究;通过优化工艺参数及步骤,制得的微测辐射热计结构稳定,成品率高;对单元器件的性能参数进行测试,结果表明,在光源调制频率为1Hz时,单元器件的响应率为18.1kV/W;探测率为1.37×108cmHz1/2/W;热时间常数为72.4ms.
关键词:
二氧化钒
,
微测辐射热计
,
MEMS
,
红外
周少波
,
王双保
,
陈四海
,
易新建
材料开发与应用
doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2004.06.006
通过反应离子溅射沉积和后退火工艺制备出优质微测辐射热计用的氧化钒薄膜.对薄膜退火前后进行了扫描电子显微镜分析,结果表明,制备的VOx多晶薄膜致密均匀,退火后晶粒尺寸变大.电学测试表明,在室温时薄膜的方块电阻约为50kΩ,电阻温度系数为-0.022/K,满足制作高性能微测辐射热计的要求.
关键词:
氧化钒薄膜
,
微测辐射热计
,
反应离子束溅射
,
制备参量
刘少波
,
刘梅冬
,
曾亦可
,
夏冬林
,
黄焱球
,
李军
,
郭明金
材料导报
归纳了非致冷红外焦平面阵列(UFPA)技术自提出、发展直至趋于成熟以来,国内外曾研究报道过的近百种热电型探测材料,对其中前景看好的Si、Ti、VOx等微测辐射热计材料和(Ba、Sr)TiO3等热释电材料进行了重点评述.
关键词:
非致冷红外焦平面阵列
,
热释电
,
微测辐射热计
,
薄膜
