李晓静
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张思凯
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于盛旺
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唐伟忠
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吕反修
功能材料
提出新型微波谐振腔用于化学气相沉积金刚石薄膜,腔体有效体积可以调节,采用环形介质窗口,置于沉积基台的下方,允许产生较大并且温度较高的等离子体.同轴内导体与沉积台相连接,微波从谐振腔底端传输经同轴导体耦合进入腔体.采用有限元的方法优化谐振腔的尺寸,使其能耦合进更大的微波能量,优化后,最大电场区域位于沉积台上方,并且均匀分布,在腔体内其它区域和介质窗口附近电场强度则很小,满足设计要求.采用时域有限差分法模拟了谐振腔在一定微波输入功率下产生等离子体的特性,并对设计的谐振腔进行试验研究,实验观察到的等离子体位置与模拟结果一致.
关键词:
微波谐振腔
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数值模拟
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电场分布
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金刚石薄膜沉积
钱江波
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韩中合
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张美凤
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李恒凡
工程热物理学报
汽轮机变工况运行时,排汽参数将发生变化.研究了微波谐振腔的热膨胀效应,分析了蒸汽温度变化对湿度测量的影响,设计了一种温度自补偿的谐振腔结构.分析表明:由于蒸汽的黏性耗散加热,谐振腔的温度高于主流温度,且流速越高,腔体温度越高,腔体和垫环的温差也越大;在一定温度范围内,通过合理设计谐振腔的温度自补偿结构,腔体的谐振频率基本不随温度变化,使谐振腔传感器用于蒸汽湿度测量可以达到较高的测量精度.
关键词:
汽轮机
,
湿度测量
,
温度自补偿
,
微波谐振腔
