邓联文
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何华辉
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冯则坤
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江建军
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张秀成
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熊惟皓
稀有金属材料与工程
研究在微波段具有高磁导率和大磁损耗的CoFeZrRE薄膜,采用射频磁控溅射工艺制备该类薄膜,探讨了工艺参数和薄膜厚度对CoFeZrRE薄膜结构和电磁性能的影响.重点研究了掺杂稀土元素的含量和种类对薄膜磁各向异性、饱和磁化强度等基本磁参量以及微波磁导率和磁损耗的影响.结果表明,重稀土元素(如Dy,Tb)提高微波磁损耗的效果更显著;CoFeZrRE类薄膜具有较高的微波磁导率和磁损耗(2 GHz处,μ'和μ"均高于200),有望在微波吸收和抗电磁干扰领域获得广泛应用.
关键词:
磁性薄膜
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微波磁导率
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稀土元素
冯则坤
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邓联文
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何华辉
功能材料
采用射频磁控溅射法制备了FeCoB/SiO2纳米磁性多层膜,并对其微波特性进行研究.用微波谐振腔法测量了该薄膜的复磁导率,2GHz频率处复磁导率实部及虚部分别可达251和22.7.重点研究了多层膜结构中介质层厚度及薄膜总厚度对磁导率的影响,同时结合直流电阻率ρ、静态磁参数Bs、Hc的测量结果分析,探讨了纳米磁性多层膜的微波高磁导率机理,并提出了微波频率下获得高磁导率及低磁损耗的途径.实验结果也表明这种纳米磁性多层膜材料有望在高频平面变压器、平面电感器、薄膜电磁干扰抑制器等领域获得应用.
关键词:
纳米磁性薄膜
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多层膜结构
,
微波磁导率
