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3英寸YBCO/CeO2/Al2O3双面超导外延薄膜的制备研究

采用自制的大面积四靶溅射设备,并结合基片的调速双轴旋转,成功研制出3英寸双面CeO2薄膜及YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜.通过对所制备薄膜的微观结构、表面形貌以及电性能的分析测试,得到的CeO2薄膜与YBCO薄膜具有良好的c轴外延取向,CeO2薄膜的(002)峰与YBCO薄膜的(005)峰FWHM均小于1°.薄膜厚度均匀性良好,厚度起伏在±5%以内.YBCO薄膜Tc分布在88.5～90K,△TC＜1K,Jc＞1×106A/cm2,Rs(10GHz,77K)两面分别为0.53mΩ和0.56mΩ,能较好地满足微波器件研制中的需要.

关键词: YBCO薄膜 , CeO2缓冲层 , 调速双轴旋转 , 微波器件

BST铁电薄膜材料的研究现状及其进展

苗鸿雁 , 马景云 , 谈国强 , 孙正球

材料导报

铁电钛酸锶钡(BaxSr1-x)TiO3是一种具有十分优越铁电/介电性能的材料,在可调微波器件及动态随机存储器件方面有很好的应用前景.介绍了钛酸锶钡薄膜材料的基本结构、制备技术、掺杂改性等方面的研究现状,并在性能改善的基础上,指出了该材料的未来发展方向.

关键词: 钛酸锶钡薄膜 , 性能改善 , 微波器件 , 存储器

Ba0.5Sr0.5 TiO3薄膜、Ba0.1Sr0.9 TiO3/YBa2 Cu3O7-δ异质薄膜的制备及介电性能研究

朱小红 , 彭炜 , 胡文斐 , 陈莺飞 , 朱建国 , 郑东宁 , 李林

功能材料

铁电钛酸锶钡(BSTO)薄膜具备十分优越的铁电/介电性能,在可调谐微波器件和动态随机存储器(DRAM)方面显示出十分诱人的应用前景.而YBa2Cu3O-δ(YBCO)高温超导薄膜作为其电极引入,明显降低了微波损耗,能够大大优化器件的性能.本文针对微波器件性能要求对比了各种常用基片的性能参数,描述了目前BSTO薄膜与BSTO/YBCO异质薄膜制备中存在的问题以及薄膜介电性能测试表征方法.利用脉冲激光沉积(PLD)技术成功制备出结构完整和质量较高的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜.同时,在1.2°斜切LaAlO3基片上研制有Ba0.1Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ异质双层膜,在1MHz频率、77K温度条件下,其介电常数为1200,介电损耗为0.0045,±30V直流偏压时可调性达到60%,在液氮温度下表现出良好的应用前景.

关键词: 异质结构 , 微波器件 , 铁电 , 高温超导 , 薄膜 , 脉冲激光沉积

铁电钛酸锶钡薄膜的最新研究进展

朱小红 , 朱建国 , 郑东宁 , 李林

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2003.05.004

铁电钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3)是一种拥有十分优越铁电/介电性能的材料,在可调谐微波器件及动态存储器件方面具有很好的应用前景.本文概括介绍了BaxSr 1-xTiO3薄膜的研究意义、基本结构、制备方法、各种性能特征及其表征方法与应用展望;并对当前BaxSr1-xTiO3薄膜研究中的几个重要前沿问题进行了详细讨论.

关键词: 铁电/介电薄膜 , 钛酸锶钡 , 微波器件 , 动态随机存储器

组合式微波器件电铸技术的工艺研究

叶贤强

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2000.04.014

提出了一种应用电铸连接技术将2个或多个零件,用电铸连接为一体,并进行了工艺试验.结果表明,这一技术在生产中解决了机械加工和焊接组合的变形,获得满意的工艺效果.

关键词: 微波器件 , 组合 , 电铸连接

微波器件化学镀金研究

周伟 , 郭珊云 , 陈志全 , 刘建

电镀与涂饰 doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2003.06.004

研制出特殊工艺的微波器件用化学镀金液.研究了还原剂浓度、KOH浓度、KCN浓度、温度及使用周期对化学镀金沉积速率的影响,还研究了超声搅拌对镀层性能的影响.通过盐雾试验及传统的弯曲试验、锉刀试验、划痕试验对镀金层的耐蚀性及结合力进行了测试.结果表明,使用合适的超声搅拌及较好的其它工艺参数,得到的镀金层表面致密、耐蚀性强、结合力优良.

关键词: 微波器件 , 化学镀金 , 超声搅拌