刘成
,
周丽华
,
叶晓军
,
钱子勍
,
陈鸣波
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2011.02.006
在不锈钢柔性衬底上采用等离子体化学气相沉积(PECVD)方法制备了不同结构的n型硅薄膜,测试了在其上生长的微晶硅太阳电池的电学输出特性.发现太阳电池的开路电压随n型层的硅烷浓度线形变化,短路电流密度则存在一个最优值,这与n型层引起的本征层中的孵化层和结构演变有关.将优化后的n型层应用于不锈钢柔性衬底的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池,获得了9.28%(AM0,1353W/m2)和11.26%(AM1.5,1000W/m2)的光电转换效率.
关键词:
柔性衬底
,
硅薄膜
,
微晶硅太阳电池
,
非晶硅/微晶硅叠层太阳电池
高艳涛
,
张晓丹
,
朱锋
,
魏长春
,
孙建
,
赵颖
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.03.019
采用甚高频等离子化学气相沉积技术(VHF-PECVD)制备了系列p-i-n型微晶硅太阳电池,研究了电池有源层硅烷浓度的变化对电池性能的影响.结果发现:随着硅烷浓度的提高电池的短路电流密度先提高然后降低,转换效率与之有相同的变化趋势,而开路电压随硅烷浓度的提高而增加,这些变化来源于有源层材料结构的改变.电池的填充因子几乎不受硅烷浓度的影响,但受前电极的影响很大.不同系列电池转化效率的最高点虽然处于非晶到微晶的过渡区,但对应电池的晶化率不同.另外,研究结果也给出非晶/微晶过渡区随着辉光功率的提高和沉积气压的降低向高硅烷浓度方向转移.
关键词:
甚高频等离子化学气相沉积
,
微晶硅太阳电池
,
硅烷浓度
