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于翮 , 俞坚 , 马重芳
工程热物理学报
介绍了微型电液动力泵的优化设计和工艺改进。电液动力微泵制作工艺的改进包括：材料的选择,微电极的优化设计和封装工艺的改进。使用聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为构建微流道的材料,采用浇注法制作了PDMS微流道,并采用阳极键合方式进行微泵的封装。使用无水乙醇为工作流体对微泵进行流动实验,在驱动电压为90 V时,电液动力微泵驱动流体的最大流速可以达到92 uL/min。
关键词: 微型电液动力泵 , PDMS , 封装 , 电子冷却
于翮 , 张强 , 俞坚 , 马重芳
本实验运用MEMS技术在硅片上加工了一种新型电子冷却微泵-电液动力微泵,微泵由一组平面电极组成,施加直流来驱动流体.相关实验研究表明微泵的性能与施加电压、工作介质,电极结构和材料以及工作环境有关.
关键词: 电子冷却 , 微型电液动力泵 , 实验分析
于翮 , 孙翠霞 , 俞坚
本文介绍了一种新型电子冷却技术-微型电液动力泵的工作原理,并且运用了MEMS技术,在硅片上加工了梳状电极形式的微型电液动力泵.采用直流电压驱动对HFE7100进行了相关实验研究,取得良好效果.
关键词: 电子冷却 , 微型电液动力泵 , 传热
