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热驱动微型泵的实验研究

尹执中 , 徐宁 , 庞江涛 , 刘理天 , 胡桅林 , 过增元 , 金观昌

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.02.001

本文对热驱动微型泵在空载和有负载(即泵送液体)情况下的性能进行了实验研究.空载情况下,在所测频率范围内,膜片的振幅随频率减小,但泵腔的体积变化率随频率基本不变;随着加热功率的增加,膜片平衡位置逐渐远离其静止位置,当功率足够大时,膜片平衡位置的变化将减缓,振幅变化也将减缓.实验测定了有负载情况下泵的频率特性,对应于最大流量的频率为3Hz;实测了流量随加热功率的变化,当功率较小时,流量缓慢变化,当功率较大时,流量迅速增大.

关键词: 微型机械 , 微型泵 , 传热 , 流动

剪切变稀效应对微型机械模内组装成型流固耦合变形的影响

周国发 , 胡舵 , 刘岑

高分子材料科学与工程

系统研究了聚合物微型机械模内组装成型熔体的剪切变稀效应对一次成型固体微型零件的流固耦合作用效应和流固耦合变形的影响规律,并揭示了其机理。研究结果表明,二次成型熔体剪切变稀效应减小会使其熔体的充填流动与一次成型固体微型轴的流固耦合作用效应增强,并使其整体温度场趋于不均匀,从而导致一次成型固体微型零件流固耦合弯曲变形和热变形增加,减小二次成型熔体剪切变稀效应可提高聚合物微型机械模内组装成型加工精度与组装配合精度。

关键词: 模内组装成型 , 微型机械 , 流固耦 , 数值模拟

微型机械材料的残余应力测量

何日晖 , 叶雄英 , 周兆英

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2001.04.010

硅类薄膜材料是微机电系统使用的主要结构材料,它的力学特性直接关系到微机电系统的可靠性和使用寿命,而残余应力是微型机械设计的一个十分重要的力学特性。概述了国内外微型机械薄膜材料残余应力的测量原理、方法和特点,可供微机电系统的设计和制造者参考。

关键词: 微型机械 , 力学特性 , 残余应力

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