材料期刊网

用于微机电系统的SiO2/Si3N4驻极体的制备及电荷稳定性

肖慧明 , 温中泉 , 张锦文 , 陈钢进

功能材料

驻极体微型发电机是近期提出的微电子机械系统开发中的一个新领域,驻极体电荷稳定性则是影响驻极体微型发电机性能的关键.用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备SiO2/ Si3N4双层膜,采用电晕充电和热极化方法对材料进行注极形成驻极体,探讨了器件加工工艺及存储环境对双层膜驻极体电荷稳定性的影响...

关键词: 驻极体 , 微型发电机 , SiO2/Si3N4双层膜 , 电荷稳定性 , 微器件加工