欢迎登录材料期刊网
张继成 , 唐永建 , 吴卫东
材料导报
聚焦离子束系统是微细加工和分析的主要技术之一,是一个完美的微米/纳米技术研究平台.简述了聚焦离子束系统的组成和主要功能,着重介绍了近年来该技术在离子束刻蚀、反应离子束刻蚀、离子束辅助沉积、离子注入、微区分析、掺杂和成像以及无掩膜曝光等微米/纳米加工领域的应用,并对未来的发展前景进行了简要分析.
关键词: 聚焦离子束 , 刻蚀 , 沉积 , 离子注入 , 微区分析与加工 , 无掩膜曝光
