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用双面氧化弯曲方法测定Al2O3膜生长应力

李美栓 , 钱余海 , 辛丽 , 周龙江

金属学报

提出了一种测定氧化膜生长应力的双面氧化弯曲方法, 经不象常规弯曲法那样为防止试样一个侧在发生氧化度制保护除层, 因而可用于较高温度及较长时间的氧化情况并可测定Al2O3膜的生长应力, 由于高温下合金及薄氧化膜发生蠕变, 从而释放膜内应力. 新方法应用于合金的蠕变数据, 并采用数值计算来获得氧化膜应力值.

关键词: 生长应力 , null , null , null , null

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