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高开口率TFT LCD的黑矩阵设计

王刚 , 杨虹 , 凌志华 , 杨柏梁 , 黄锡珉

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.1999.03.002

提出了一种有效提高开口率的新型黑矩阵方式的设计思想. 与传统黑矩阵相比, 在不增加工序和增大工艺难度的基础上, 提高了开口率. 同时, 通过对黑矩阵尺寸的优化设计,得到了较好的视角特性. 将这种方式的黑矩阵应用于40.9cm(16.1英寸)SXGA(1 280×3RGB×1 024)全彩色液晶显示屏, 可使开口率提高6%.

关键词: 黑矩阵 , 对比度 , 开口率 , 视角特性

ZnO基薄膜晶体管的研究

程松华 , 曾祥斌

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2006.05.023

ZnO是一种宽带隙的光电半导体材料,能应用于很多领域,如可用在压敏变阻器、声表面波器件、气敏元件、紫外光探测等.ZnO也可以作为有源层应用于薄膜晶体管(TFT)中.ZnO基薄膜晶体管具有以下突出优势:对于可见光部分平均具有80 %以上的透射率,迁移率可以高达36 cm2/V·s,开/关电流比大于106,可在较低温度(甚至室温)下制备.基于这些优点,ZnO TFT具有取代有源矩阵液晶显示器中常规a-Si TFT的趋势.同时对ZnO TFT的研究也推动了透明电子学的发展.本文阐述了ZnO TFT优越的电学性能,指出了其目前尚存在的不足,并对其发展前景进行了展望.

关键词: ZnO TFT , 迁移率 , 开/关电流比 , 有源矩阵液晶显示器 , 开口率

利用CF4等离子体制作高开口率TFT-LCD

金奉柱 , 崔瑩石 , 劉聖烈 , 張炳鉉 , 柳在一 , 李禹奉 , 李貞烈 , Jung-yeal LEE

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2006.05.001

为了获得高的开口率,有必要优化设计参数和工艺容差.通常的过孔刻蚀工艺采用SF6基气体进行刻蚀,但是这种方法在金属和钝化层之间的选择性太小,因此,必须增加过孔的尺寸才行.为了克服上述问题,在本研究中用CF4气体代替 SF6气体进行刻蚀,结果在FFS 5.16(2.03 in)像素结构中,开口率提高了60 %.

关键词: TFT-LCD , 开口率 , 刻蚀 , CF4等离子体

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