李慧娟
,
尤政
,
张高飞
,
杨建中
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.048
本文利用通电平面螺旋线圈产生磁场特点,采用镜像绕制以及并联连接双线圈的方法,研制了一种快速低功耗MEMS微型双稳态继电器结构,其尺寸约为3mm*4.5mm*1.5mm,文中着重分析其工作原理和过程.经过分析,该继电器在通电电流80～120mA时,开关时间约在0.1ms～0.2ms之间,因此,其具有体积小、开关速度快、低功耗等优点,并且易于集成和阵列,适用于能源有限并且可靠性要求高的微型航天器以及便携设备中.
关键词:
微机械系统
,
微继电器
,
平面螺旋线圈
,
微机械加工工艺
