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MEMS显示技术

耿卫东 , 刘会刚 , 商广辉

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2008.02.022

由于MEMS器件具有体积小、重量轻、功耗低、性能优异等特点,MEMS技术在平板显示器产业日益受到人们的重视,基于MEMS的显示技术将推动新一代平板显示器的发展.文章重点分析了比较成熟的MEMS显示技术的工作原理,包括TI公司的数字微镜技术、斯坦福大学发明的光栅光阀技术、美国Iridigm Display公司发明的干涉调制显示器.讨论了各种技术的优势和应用局限性,指出改进工艺、降低成本、开发优质的MEMS材料是MEMS显示技术发展的方向.

关键词: 数字微镜器件 , 光栅光阀 , 干涉调制显示器 , 微电机系统