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工艺特性对二维微加速度传感器性能的影响

刘妤 , 温志渝

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.011

工艺特性在很大程度上决定了MEMS器件最终的功能特性.本文针对自主设计的二维微加速度传感器,在概念设计阶段定量分析了工艺特性对传感器性能的影响,主要包括质量偏心、梁加工误差、结构对称性、非平行效应等.结果表明:质量偏心会引起角位移变化,但对主轴刚度无影响,传感器不会有输出;在现有工艺条件下,可忽略梁厚误差的影响,但需严格控制梁宽误差;各种不对称方案对传感器主轴刚度和横向灵敏度的影响程度不同,不对称方案对横向灵敏度的影响随着不对称性的加剧而增大;非平行效应使得在相同外载荷作用下敏感轴向位移减小,但静态灵敏度却有所增加.

关键词: 微加速度传感器 , 工艺特性

树脂传递模塑工艺专用低粘度环氧树脂体系研究

张锬 , 段跃新 , 肇研 , 陆再平 , 梁志勇

高分子材料科学与工程

系统研究了用于RTM工艺的低粘度环氧中温固化体系的工艺特性及力学性能.结果表明,该体系在70 ℃以上存在低于100 mPa.s的低粘度平台,其浇铸体拉伸模量高达3.7 GPa,可满足RTM工艺对树脂粘度及力学特性的要求.

关键词: 树脂传递模塑 , 环氧树脂 , 工艺特性

紫木凼金矿矿石工艺性质研究

吴学敏 , 李昌寿

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2006.02.011

紫木凼金矿石是黔西南地区较典型的难处理金矿石.矿石工艺性质研究的重点是查明金矿物在矿石中的赋存状态、嵌布粒度等工艺特性;同时,对矿石物质组成,特别是对选冶工艺有害成分的矿物也进行了系统研究.该研究的主要目的是为原矿沸腾焙烧-氰化提金工艺试验提供依据.

关键词: 难处理金矿石 , 工艺特性 , 沸腾焙烧

金属材料激光立体成形技术

黄卫东 , 李延民 , 冯莉萍 , 陈静 , 杨海欧 , 林鑫

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2002.03.011

对激光立体成形技术的基本原理、发展状况以及成形特性、凝固组织形成规律进行了系统深入的研究,发现要获得理想的成形效果,就必须对单层涂覆厚度、单道涂覆宽度、搭接率等主要参数进行精确控制.在工艺研究的同时,对成形件微观组织形成规律进行了研究,发现其内部组织主要由外延生长的细长枝晶构成,其枝晶一次间距在10～30μm之间.在进一步严格控制工艺条件的基础上,获得了具有定向乃至单晶组织的试样.结合成形特性方面的研究结果,通过总结优化工艺,获得了不同合金的激光立体成形件,成形件内部致密,表面质量良好,无缺陷.

关键词: 激光立体成形 , 工艺特性 , 显微组织

钛合金水火弯板工艺特性的试验研究

孟祥军 , 刘茵琪

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2003.05.006

采用氧乙炔加热的方法研究了钛合金水火弯板的变形工艺特性.研究结果表明,水火弯板的变形量与加热速度、加热线的长度和间距都有关系,钛合金水火弯板受加热速度的影响最大.采用回归分析建立了变形量与加热速度、加热线的长度和间距之间的模型.

关键词: 钛合金 , 水火弯板 , 工艺特性

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