黄根生
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王成新
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黄柏标
,
崔得良
,
高善民
,
秦晓燕
,
于淑琴
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.1998.01.013
采用常压金属有机物气相沉积法生长AlAs/GaAs周期性反射膜,并利用双晶X射线衍射、扫描电子显微镜和记录式分光光度计等分析手段,对材料结构及光学性质进行了分析.实验结果表明,在780℃连续生长的薄膜结构和晶体质量都很好,但是反射率低;通过模拟计算,连续生长存在渐变层,而渐变层大大降低了反射率;在同样生长条件下间断生长得到较高反射率的薄膜材料.
关键词:
AlAs/GaAs反射膜
,
反射率
,
导纳矩阵法
,
金属有机化学气相沉积
