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定向沉积法对Nd2Fe14B薄膜形态和磁性能的影响

傅明喜 , 宗华 , 李岩 , 查燕清

稀有金属材料与工程

采用直流励磁磁控溅射法制备NdFeB稀土永磁薄膜.研究分析了衬底预热与定向沉积法对薄膜结构和磁性能的影响.实验结果表明:定向沉积技术制备出的NdFeB薄膜表面形成单一方向的柱状晶,该柱状晶生长方向垂直于薄膜表面,使薄膜具有良好的磁各向异性,薄膜矫顽力大大提高,H⊥/H∥比值改善.在预热温度200℃逐渐加热到500℃并保温10 min时,薄膜磁性能最佳.

关键词: NdFeB薄膜 , 定向沉积 , 动态加热 , 磁性能