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由臣 , 赵燕平 , 孙永昌 , 王玉红 , 刘技文
兵器材料科学与工程 doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2004.03.012
简介了现有金属掩膜法制备纳米多层膜的过程,指出采用定位图形套准模板存在的弊端,研制出采用定位框固定基片、套准模板的制备新方法及装置.试验表明,采用该方法可显著提高制备纳米多层膜的完好率及套准精度.
关键词: 纳米多层膜 , 定位框 , 套准 , 模板
