董雪振
,
吴任平
功能材料
doi:10.3969/ji.ssn1.001-97312.0151.70.31
以硫化镉（CdS ）为主要原料，氯化镉（C dC l2）为助熔剂，采用干压成型、真空烧结的方式制备CdS陶瓷靶材。探讨了原料性质、烧结温度、CdCl2添加量对靶材相对密度、烧结线收缩率、显气孔率及表面电阻率的影响。用阿基米德法测定靶材密度、用四探针测试仪测试靶材表面电阻率、用X RD测试靶材晶相结构、用SEM 观察靶材微观形貌。实验结果表明，靶材试样的晶相主要为六方相CdS ，晶粒均匀（晶粒大小在3～8μm之间），密度达到45．5 g／cm3，显气孔率45．9％，表面电阻率892．Ω?cm ，能满足磁控溅射镀膜工艺对靶材的指标要求。
关键词:
CdS
,
陶瓷靶材
,
太阳能薄膜电池
