褚祥诚
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黄金锭
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李思贤
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李龙土
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桂治轮
稀有金属材料与工程
压电陶瓷具有简单、体积小、质量轻、分辨率高等优点,在微操作器驱动中是主流材料.针对一种三自由度多层压电陶瓷微操纵技术进行了理论模拟研究,采用有限元法分析了操纵器在不同驱动方式下的工作状态,如:沿Z轴平动、绕X轴和X-Y轴平分线转动3种情况.研究了陶瓷片内部应力特点,并对微操纵的变形行为作了定量分析,得到了探针的位移与驱动电压呈现良好的线性关系,通过对比针尖位移量与所施加的电压之间的系数D以及压电材料关键性能参数d33,验证了模拟的准确性,并验证了采用多层压电陶瓷降低驱动电压实现微操纵的可能.
关键词:
微操纵器
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压电陶瓷
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多自由度
,
有限元分析
