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飞秒激光烧蚀Ag膜的研究

吴小麟 , 高传玉 , 周明 , 张伟

功能材料

研究飞秒激光烧蚀Ag膜表面,采用扫描电镜(SEM)观测其表面烧蚀形貌,发现烧蚀点大致分为3个区域,烧蚀面积随着脉冲能量的增大而增大,脉冲数的增加而增大,但当脉冲数达到一定值后烧蚀面积变化不大.改变脉冲数在烧蚀点得到了周期为650和150nm的长短周期条纹结构.根据烧蚀区域面积与脉冲能量的关系算出单脉...

关键词: 飞秒激光 , 周期条纹结构 , 烧蚀阈值 , 多脉冲累计因子