陈美艳
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童洪辉
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沈丽如
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金凡亚
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赵燕
功能材料
多弧离子镀方法在15-5PH不锈钢材料表面制备结合力、硬度和致密性高的TiN涂层，提高材料表面硬度和抗高温氧化性能。分析结果显示过渡层成分、预热温度、工作气压及负偏压等主要参数对膜层性能影响明显。得到Ti为过渡层时，预热250℃，气压3．0Pa，600V偏压镀膜工艺参数最佳，制备的膜基结合力高于60N，表面硬度〉1200HV0.05，膜层表面大液滴密度尺寸最低。膜层表面显微硬度、膜层沉积速率和膜基结合力随工作气压升高不同程度地先升高后降低。
关键词:
多弧
,
TiN
,
过渡层
,
结合力
