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液态硅浸渍反应和混合酸(HNO3+HF)刻蚀制备多孔SiC陶瓷

王伟 , 薛涛 , 金志浩 , 杨建锋 , 乔冠军

稀有金属材料与工程

通过液态硅浸渍反应和混合酸(HNO3+HF)腐蚀制备了多孔SiC陶瓷.扫描电镜(SEM)结果显示,多孔SiC具有不规则且相互连通的孔道结构,其微观形貌特征源于滤纸和酚醛树脂制备的多孔碳.多孔SiC的气孔率可达62%,混合酸腐蚀的多孔SiC的弯曲强度和断裂韧性均小于致密SiC/Si复合体.并提出用循环氧化-腐蚀机制解释游离态Si的腐蚀过程.

关键词: 多孔SiC , 混酸腐蚀 , 制备 , 液相渗硅