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多孔氧化铝薄膜的制备

卢云 , 侯应应 , 刘俊 , 陈大凯 , 于大蔚

材料导报

研究了多孔氧化铝薄膜的制备工艺以及影响其成孔效果的主要因素.采用分步阳极氧化的方法和适当的工艺步骤获得了孔洞分布均匀、孔径一致且耐水合的多孔氧化膜,此类氧化薄膜在经过后续的特殊处理后可以用于制备湿度传感器和AAO薄膜.

关键词: 阳极氧化 , 多孔三氧化二铝薄膜 , 影响因素