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多光子纳米加工中激光扫描条件对金属微纳结构的影响

靳伟 , 董贤子 , 赵震声 , 段宣明

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2011.12.013

研究了飞秒激光多光子还原制备银微纳结构技术中激光扫描条件对金属微纳结构与形貌的影响.结果表明:增加激光扫描点间距d可获得较小线宽,延长曝光时间t使线条变宽,增加扫描次数N可使金属微纳结构表面银纳米粒子熔融凝固成较大尺寸颗粒及块状物.

关键词: 多光子纳米加工 , 多光子光化学还原 , 金属微纳结构

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