谢致薇
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王国庆
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杨元政
,
匡同春
,
白晓军
,
谢光荣
,
胡社军
稀有金属材料与工程
采用电弧离子镀技术、TC7双相钛合金靶沉积TiAlCrFeSiBN薄膜,研究了这种多元膜的显微硬度、高温氧化性能和组织结构.结果表明:这种多元膜具有优于TiN膜的显微硬度;具有不同于TiN膜的显微组织,其最显著的特征是存在较多细小的钛滴,这些钛滴与膜之间的融合效果很好;膜层上孔隙较少;具有TiN的面心立方结构,与TiN膜相比,具有更加明显的择优取向趋势.
关键词:
电弧离子镀
,
多元膜
,
显微硬度
,
高温氧化性能
谢光荣
,
谢致薇
,
胡社军
,
蒙继龙
材料保护
doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2001.09.002
研究了多弧离子镀(TiFeCr)N多元膜的抗高温氧化性能,结果表明:这种多元膜加热至600℃时膜层仍保持良好的光泽,加热至800 ℃膜层仍保持完整,没有类似TiN膜的局部脱落现象,在800℃以下的氧化增重均低于TiN膜,在600℃还能有效地抑制铜基体的氧化,保护性能优于TiN膜.
关键词:
多弧离子镀
,
多元膜
,
耐高温
,
抗氧化
谢致薇
,
王国庆
,
蒙继龙
,
谢光荣
,
胡社军
稀有金属材料与工程
对Fe+Cr改性多元氮化物薄膜, 即(TiFeCr)N多元膜的高温氧化行为进行了研究, 结果表明: (1) 这种多元膜在600℃以上温度下的氧化增重均低于TiN膜, 加热至600℃膜层仍保持良好的光泽, 加热至800℃膜层仍保持完整, 没有类似TiN膜的局部脱落现象, 说明这种多元膜具有优于TiN的抗高温氧化性能; (2) 600℃氧化1 h后, X射线衍射(XRD)谱上没有出现类似于TiN场合下出现的氧化铜的谱线, 说明这种多元膜可以有效地抑制铜基体的氧化, 具有优于TiN膜的保护性能.
关键词:
多元膜
,
多弧离子镀
,
氧化
谢致薇
,
王国庆
,
杨元政
,
白晓军
,
匡同春
,
谢光荣
,
胡社军
钛工业进展
doi:10.3969/j.issn.1009-9964.2004.03.009
采用电弧离子镀技术、TA5钛合金靶沉积TiAlBN薄膜,研究了这种多元膜的显微硬度、高温氧化性能和组织结构,结果表明:这种多元膜具有优于TiN膜的显微硬度;不同于TiN膜的显微组织,其最显著的特征是存在一些细小的钛滴;双靶工作状态下,这些钛滴与膜之间的融合效果较好,膜层表面孔隙较少;薄膜具有TiN的面心立方结构,与TiN膜相比,具有更加明显的择优取向趋势.
关键词:
多元膜
,
氮化物
,
电弧离子镀
