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电弧离子镀Ti-Al-Ce-N多元多层膜的制备及性能研究

汝强 , 胡社军 , 黄拿灿 , 胡显奇 , 盛钢 , 王明

稀土 doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2005.01.010

采用Ti-Ce,Ti-Al合金靶,利用电弧离子镀技术在高速钢基底上制备Ti-Al-Ce-N涂层,研究了Ce及Al对TiN系涂层的界面结合强度的影响,同时辅以显微硬度、抗氧化特性的测定,结合TiN涂层的组织结构,讨论了Al、Ce对TiN系涂层的改性.试验表明:TiN涂层中添加微量Ce和Al,可以明显改善膜基结合强度,并且有助于形成(111)和(222)择优取向,使膜层致密提高抗氧化能力.

关键词: 稀土元素 , 多元合金强化 , TiN , 结合力

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