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Influence of an External Magnetic Field on the Growth of Nanocrystalline Silicon Films Grown by MF Magnetron Sputtering

材料科学技术（英文）

关键词: 薄膜生长 , 外部磁场 , 纳米晶硅 , 磁控溅射沉积 , 等离子体状态 , 非平衡磁控溅射系统 , 中频 , 电磁线圈

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