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外延铁酸铋薄膜铁电性和反转特性的研究

彭增伟 , 刘保亭

人工晶体学报

采用磁控溅射的方法在以SrRuO3 (SRO)为底电极的(001)取向的SrTiO3基片上制备了外延BiFeO3 (BFO)薄膜,并以氧化铟锡(ITO)和金属Pt为上电极构架了ITO/BFO/SRO和Pt/BFO/SRO两种薄膜电容器,研究上电极对外延BFO薄膜铁电性和反转特性的影响.结果表明,两种...

关键词: 外延铁酸铋薄膜 , 上电极 , 铁电性 , 反转特性