李传志
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徐均琪
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严一心
材料导报
利用非平衡磁控溅射技术溅射复合靶制备了一系列掺杂金属元素钛的类金刚石膜,并对薄膜的机械性能、沉积速率、电学性能及化学性能进行了测试,主要分析了影响机械性能、沉积速率的主要参数并确定了最佳工艺参数,同时阐述了其电学性能及化学性能结果.
关键词:
非平衡磁控溅射
,
钛掺杂
,
复合靶
,
正交实验
常伟
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牟仁德
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商晓宇
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何利民
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陆峰
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汤智慧
机械工程材料
采用真空多弧离子镀技术，使用Cr30A170（原子分数）复合靶，在不同的基体负偏压下，在不锈钢基体上制备了一系列CrAlN涂层；采用能谱仪、X射线衍射仪、扫描电子显微镜、粗糙度仪、显微硬度仪、摩擦磨损试验机和划痕仪等系统分析了涂层的成分、表面形貌、相结构、粗糙度、显微硬度、摩擦磨损性能和界面结合性能。结果表明：随着负偏压的增大，涂层中x（Cr）／x（Cr＋Al）的比值先增大后减小，当负偏压为150V时，该值达到最大，并与靶材成分接近；基体负偏压为200V时，涂层的表面粗糙度最大，涂层结晶度、硬度最佳，晶体相为固溶铬的面心立方AlN；涂层的摩擦磨损性能不仅与涂层的表面粗糙度相关，还与涂层非晶相中铝元素的含量以及涂层的内应力大小密切相关；界面过渡层制备工艺相同时，基体偏压对涂层和基体之间的界面结合性能影响较小。
关键词:
真空多弧离子镀
,
复合靶
,
CrAlN涂层
,
显微组织
