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多晶硅薄膜太阳能电池硅基复合陶瓷衬底的设计与制备

李海峰 , 黄勇 , 万之坚 , 张厚兴 , 张立明 , 许颖 , 王文静

稀有金属材料与工程

采用复合陶瓷设计的概念,设计多晶硅薄膜太阳能电池用Si,SiC,C的复合陶瓷衬底.在气氛保护烧结炉中烧成,得到的复合陶瓷衬底和Si具有较好的热力学和晶体学匹配性,可以有效的避免在RTCVD工艺下高温沉积和冷却过程中出现的开裂现象,并能得到质量较好的多晶硅薄膜.同时,通过恰当设计Si,SiC和C各组分间的比例,还可以制备具有良好导电性能的陶瓷衬底,这对陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池的制备也有重要的意义.

关键词: 陶瓷衬底 , 复合陶瓷设计 , 薄膜电池

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