李浩
,
李成明
,
吕反修
,
唐伟忠
,
陈广超
,
鲍学进
,
刘政
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.01.038
为了解决金刚石膜脱膜开裂的问题,尝试了一种复合衬底,即镀有钛过渡层的钼衬底.利用直流等离子体喷射法在复合衬底上制备了不同厚度无裂纹的自支撑金刚石膜.用扫描电镜(SEM)、拉曼谱和X射线衍射表征金刚石膜的特征,并检测了其断裂强度.结果表明,用复合衬底制备的金刚石膜在950℃具有最小半高宽,在实验温度下所获得的金刚石自支撑膜的断裂强度均超过了500MPa.
关键词:
金刚石膜
,
复合衬底
,
钛过渡层
,
直流等离子体喷射法
,
自支撑金刚石膜
刘世良
,
李抒智
,
周圣明
,
王银珍
,
彭观良
,
徐军
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.02.013
通过气相传输平衡法(VTE)制备了γ-LiAlO2/α-Al2O3复合衬底,使用5%的稀盐酸对其进行腐蚀并在900℃退火72h.利用X射线衍射、偏光显微镜及扫描电镜对复合衬底进行了分析,发现在白宝石a面(11-20)和γ面(1-102)均获得单相多晶的γ-LiAlO2,且后者的择优取向好于前者.腐蚀可以提高样品的择优取向,在5%的稀盐酸中,时间控制在2min左右可获得较好的结果.退火后γ-LiAlO2颗粒质量得到改善,白宝石a面上γ-LiAlO2的质量优于r面上的γ-LiAlO2,两者都出现颗粒长大现象.
关键词:
γ-LiAlO2/α-Al2O3
,
复合衬底
,
气相传输平衡
,
腐蚀
,
退火
