材料期刊网

1. 首页
2. 检索结果页

原词结果 | 译词结果

用MPCVD法在WC－Co刀具上沉积金刚石薄膜

余卫华 , 周健 , 王念 , 李力 , 刘桂珍

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.03.003

研究了硬质合金基体的预处理对金刚石沉积的影响，并确定了用MPCVD法在WC－Co刀具 上沉积金刚石薄膜的工艺参数。采用了一些提高成核密度和沉积速率的方法，用SEM、XRD和 Raman对金刚石薄膜的性质进行了分析。结果表明，合适的预处理可以有效的抑制钴的溢出并提 高薄膜的质量。

关键词: 金刚石薄膜 , WC－Co刀具 , 微波等离子体 , 基体预处理

灯丝/基体距离对金刚石涂层质量的影响

邓福铭 , 杨俊杰 , 刘畅 , 王博 , 周欢子 , 赵晓凯

硬质合金 doi:10.3969/j.issn.1003-7292.2013.12.004

热丝CVD法金刚石膜生长中基体温度对金刚石薄膜的质量有很大的影响,而基体与灯丝的距离决定着基体沉积温度的高低.本实验采用单一变量法,在其它工艺参数不变的情况下,研究不同基体与灯丝距离对CVD金刚石涂层的质量的影响.采用扫描电镜、Raman光谱、洛氏硬度计对试样的表面形貌、成分和涂层与基体的结合力进行测定.结果表明,当采用两步法基体预处理,在碳源体积浓度为2％、沉积气压为3kPa、反应功率为4 kW时,得到最优金刚石涂层质量的热丝与基体的距离为5 mm.

关键词: 基体温度 , 涂层质量 , 基体与灯丝距离 , 基体预处理

基体预处理对氧化铍基金刚石膜性能的影响

方梅 , 余志明 , 肖柱 , 陈爽 , 陈永勤

材料科学与工艺

通过改变氧化铍基体的预处理方法,研究了热丝化学气相沉积系统中金刚石薄膜与氧化铍基体的结合情况,及其对导热性能的影响.分别利用金相显微镜和扫描电镜观察薄膜的剥落程度和其表面形貌,利用激光热物性测试仪测量基体和金刚石膜/氧化铍复合体的热扩散系数,并计算其热导率.实验结果表明:水磨砂纸研磨和氢氟酸处理均能有效提高金刚石薄膜与基体的结合情况;氢氟酸处理时间10 min时可得到致密连续、表面均匀的金刚石薄膜,此时复合体的热导率较原来的氧化铍基体可提高31.4%.

关键词: 热丝化学气相沉积 , 金刚石薄膜 , 基体预处理 , 氧化铍 , 热导率

CVD金刚石薄膜涂层衬底预处理方法

方莉俐

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.040

概述了CVD金刚石薄膜涂层衬底预处理的基本方法,并对一些主要方法作了评述.对于硬质合金类衬底预处理、铜衬底表面预处理、钢铁衬底表面预处理、硅表面预处理,提高膜基结合力的途径除有研磨、超声清洗、植晶、化学腐蚀、等离子体刻蚀、沉积中间过渡层等方法外,还有优化衬底形状、通过表面扩散感应促进成核等手段.

关键词: 金刚石薄膜 , 基体预处理 , CVD

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词