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透明导电SrCu2O2薄膜的制备技术与生长机制的探讨

方亮 , 高岭 , 董建新 , 彭丽萍 , 刘高斌 , 汪立文

材料导报

SrCu2O2(SCO)是一种新型可掺杂为p型导电的直接带隙透明氧化物半导体,其沉积温度低,基于pSrCu2O2和n-ZnO薄膜已经成功制备了异质结透明近紫外发光二极管,预示着其广阔的应用前景.对SCO薄膜的几种制备技术的特点进行了详细说明,结合"域匹配外延"的观点讨论了SCO在ZnO上的外延关系,并提出了SCO膜生长机理方面需要解决的问题.

关键词: SrCu2O2 , 异质外延 , 域匹配