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赵耀华 , 刘志刚 , 鹤田隆治
工程热物理学报
本文提出了喷嘴沿被加热物体宽度方向往复移动式射流冲击加热方法,该加热方法可提高被加热物体的等温性.通过进行数值模拟,得到了在任意时刻,被加热物体的温度分布及全体计算时间内被加热物体表面平均温度分布,进而得到了喷嘴移动周期与被加热物体的等温性的关系.
关键词: 射流冲击 , 均匀加热 , 微电子制造
