邵增军
,
彭智
,
宋国君
,
李晓茹
,
王树龙
功能材料
采用紫外线光刻技术在铝片上生成预设图案,用恒流二次氧化法在图案化的铝片上生长AAO,以此模板制备了PS和Cu纳米线阵列.采用扫描电子显微镜(SEM)分析.结果表明,制备的图案是直径5μm的圆形组成,圆形图案中·心之间距离是10μm,每个圆中生长了均匀的AAO,孔径大约为60～80nm.
关键词:
紫外光
,
一维纳米结构
,
光刻胶
,
图案化模板
邵增军
,
彭智
,
宋国君
,
姜宁
,
王树龙
功能材料
采用紫外线光刻技术在阳极氧化铝模板(AAO)上生成预设图案,用物理浸润的方法在图案化的模板上生长聚苯乙烯,最后用NaOH和磷铬酸溶液分别溶解模板.采用扫描电子显微镜(SEM)和电子能谱(EDS)分析.结果表明,制备的图案是直径5μm的圆形组成,圆形图案中心之间距离是10μm,每个圆中长满一维纳米阵列,其纳米特性没有变化.
关键词:
紫外光
,
苯乙烯
,
一纳米结构
,
光刻胶
,
图案化模板
