陆晓欣
,
朱嘉琦
,
王赛
,
刘罡
,
刘远鹏
,
袁欣薇
,
霍施宇
功能材料
为了提高固贴式薄膜体声波谐振器（SMR）的电学和声学品质,实现四面体非晶碳（ta-C）在体声波器件领域的新应用,建立了以ta-C为布拉格反射栅高声阻抗材料的SMR模型,利用MathCAD仿真研究布拉格反射栅层数对该SMR的谐振特性的影响以及ta-C中sp3杂化含量和高/低声阻抗层厚度偏差对SMR的品...
关键词:
固贴式薄膜体声波谐振器
,
四面体非晶碳
,
布拉格反射栅
,
品质因子
刘罡
,
朱嘉琦
,
王赛
,
陆晓欣
,
刘远鹏
,
霍施宇
,
袁欣薇
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2010.01233
固贴式薄膜体声波谐振器(SMR-FBAR)技术是近年来电子工业领域里的突破性技术, 具有2GHz以上的工作频率、极高的的品质因子及良好的机械稳定性等众多的优异特性. 基于其独特的优越性, 固贴式薄膜体声波谐振器成为了科研工作者们关心的热点, 并在第三代无线通信系统中已得到广泛应用, 例如...
关键词:
固贴式薄膜体声波谐振器
,
piezoelectric film
,
Bragg reflector
,
electrode film
,
review
刘罡
,
朱嘉琦
,
王赛
,
陆晓欣
,
刘远鹏
,
霍施宇
,
袁欣薇
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2010.01233
固贴式薄膜体声波谐振器(SMR-FBAR)技术是近年来电子工业领域里的突破性技术,具有2GHz以上的工作频率、极高的的品质因子及良好的机械稳定性等众多的优异特性.基于其独特的优越性,固贴式薄膜体声波谐振器成为了科研工作者们关心的热点,并在第三代无线通信系统中已得到广泛应用,例如作为基本单元用来制作滤...
关键词:
固贴式薄膜体声波谐振器
,
压电薄膜
,
布拉格反射栅
,
电极薄膜
,
综述
