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含铜螯合物的感光性与CuO的微细图形研究

张黄莉 , 赵高扬 , 薛人中 , 彭海军

稀有金属材料与工程

以苯酰丙酮[BzAc]作为化学修饰剂,采用溶胶-凝胶法合成了含铜的螯合物,研究了含铜螯合物的紫外、红外光谱特性.发现在330 nm处有与含铜螯合物相关的吸收峰,当紫外光照射该凝胶薄膜后,与含铜螯合物相关的吸收峰逐渐变弱,含铜螯合物分解.伴随着螯合物的分解,其凝胶薄膜在有机溶剂中的溶解性迅速降低,从而表现出紫外光感应特性,利用这种光感应特性,可获得该凝胶薄膜的微细图形.再经过500 ℃热处理,得到了具有立方相氧化铜薄膜的微细图形.

关键词: 溶胶-凝胶法 , 含铜螯合物 , 化学修饰 , 微细图形

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