沈凯
,
满石清
材料导报
利用乙二胺( Ethylenediamine anhydrous,EDA)/异丙醇(Isopropyl alcohol,IPA)体系对单晶硅(100)面进行了各向异性腐蚀,研究了不同温度、不同反应时间条件下单晶硅表面的绒面结构和表面反射率.利用EDA/IPA 体系得到的金字塔结构尺寸为8μμm左右,但均匀性较差.在1.5％ EDA、5％ IPA体系中添加5％Na2SiO3,80℃反应15min后获得了平均反射率为l1％、表面金字塔结构均匀且尺寸较小的单晶硅绒面.实验结果表明,Na2SiO3的引入使金字塔的尺寸从8μm左右降低至3μm左右,并且均匀度也得到改善.
关键词:
硅制绒
,
乙二胺
,
各向异性腐蚀
,
太阳能电池
吴文娟
,
张松
,
韩培育
,
覃榆森
,
季静佳
,
顾晓峰
,
李果华
人工晶体学报
太阳电池单晶Si片表面制绒已是一项成熟的工艺,但普遍制绒时间较长.为提高制绒效率,本课题研究了较短时间内NaOH/ 异丙醇(IPA)体系制绒时的温度、时间、溶液组分对绒面的影响,以及制绒前去损伤的优劣.最终实现了,在含2.5%NaOH(质量百分比,下同)和10%IPA的溶液中,80℃恒温处理15 min即可制备出比较均匀的绒面.溶液中加入3%Na2SiO3,效果更佳,反射率最低可达9.5%.并发现去损伤后制绒效果并不理想,同时还研究了表面活性剂1,4-环己二醇(CHX)和十二烷基苯磺酸钠(SDBS)代替异丙醇制绒.研究发现,异内醇仍然是性价比较好的添加剂.
关键词:
各向异性腐蚀
,
太阳电池
,
制绒
,
单晶Si
田锋
,
朱建中
,
张国雄
,
王荣
,
吴霞琴
,
章宗穰
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.04.009
报导了谷氨酸、半乳糖集成传感器的制造和表征.传感器建立在硅衬底上用各向异性腐蚀制成的锥形微腔阵列上,同酶膜沉积在相应的微腔中.采用这种结构可生产多功能的生物传感器 .
关键词:
谷氨酸传感器
,
半乳糖传感器
,
各向异性腐蚀
,
阳极键合
,
壳聚糖
,
半透膜
韩建强
,
卢少勇
,
李青
,
王疆英
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2008.10.024
氢氧化钾溶液腐蚀硅尖具有易于实现、设备简单、优异的纵向腐蚀均匀性等优点,但腐蚀均匀性差、纵向和横向腐蚀速率之比低、针形为不对称的八棱锥.通过在KOH溶液中添加过饱和的碘单质(I2),显著减小了快腐蚀面的削角速率,在较小的掩膜下腐蚀出高的硅尖.更为重要的是该腐蚀液腐蚀的硅尖异于常规的不对称八棱锥,而是一种半锥角很小的"火箭尖"形状,因此可望获得更好的扫描特性和隧道效应.
关键词:
AFM探针
,
削角
,
硅尖
,
各向异性腐蚀
,
微电子机械系统
成海涛
,
杨恒
,
王跃林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.02.014
常规的通过干法刻蚀制作纳米梁的方法会不可避免地在梁上引入晶格损伤层.本文提出一种制造无晶格损伤层纳米梁的新工艺方法.在常规光刻后,辅助利用FIB(聚焦离子束)刻蚀修改硅梁中部上方的SiO2掩模.根据单晶硅的材料和工艺特点,通过KOH各向异性腐蚀,硅梁两侧壁与硅片表面垂直,并自停止为(111)面.自停止面自校正地沿<112>晶向自硅梁中部向两端扩展,直至硅梁成型.经过冷冻干燥,最终在(110)SOI硅片上制得了宽度为112nm的单晶硅纳米梁.自校正的腐蚀方式提升了工艺稳定性,并且由于结合利用了湿法腐蚀和FIB技术,此工艺方法具有无晶格损伤层、工艺重复性好、加工精度高等优点.
关键词:
纳米梁
,
各向异性腐蚀
,
FIB
