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陶甫廷 , 王敬义 , 何笑明 , 王宇 , 尹盛
稀有金属材料与工程
列出了各类粒子的产生、输运和它们同靶表面反应的速率方程,并计及高能中性粒子对靶面溅射的剥离速率方程.有关方程耦合后求解溅射速率与气体流量和放电电流的关系.本文强调反应粒子的反应碰撞,论述了从粒子输运出发探讨薄膜生长方法的优点.
关键词: 薄膜生长 , 反应粒子输运 , 生长速率
