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靶面化合物覆盖度的计算方法研究

陶甫廷 , 王敬义 , 何笑明 , 王宇

稀有金属材料与工程

由溅射速率方程和反应粒子输运方程得出了靶面化合物的覆盖度.所有方程都用反应室结构参数和宏观参数表示.文中还给出了溅射淀积TiN薄膜的计算结果,结果表明与实验数相吻合.所建立的方法便于工艺优化的实施,属新的工程方法.

关键词: 反应溅射 , 靶中毒 , 反应粒子