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Al2O3与TiO2混合离子镀过程中工艺参数对涂层性能的影响

肖李鹏 , 熊国刚 , 李恩平

腐蚀与防护 doi:10.3969/j.issn.1005-748X.2003.06.007

讨论了在采用离子镀获得Al_2O_3与TiO_2混合涂层工艺过程中，真空度、基片偏压、电子枪功率等主要工艺参数对涂层性能的影响。

关键词: 反应离子镀 , 结合强度 , 沉积速率