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我国多晶硅铸锭坩埚的现状与发展

李贵佳

硅酸盐通报

本文总结了我国多晶硅锭坩埚生产现状,指出熔融石英材质坩埚仅能一次性使用,可反复使用的坩埚是发展方向,介绍了国内外可反复使用坩埚的主要生产技术.

关键词: 多晶硅锭 , 坩埚 , 熔融石英 , 反复使用