王小平
,
刘援
,
王霈文
,
冯稷
,
林晨光
,
华志强
,
张朝兴
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2000.06.017
采用大直径中空柱状阴极磁控溅射装置和筒形加热器制备了高质量 YBa2Cu3O7-x 双面超导薄膜.使用衬底为(001) LaAlO3 和 (001) YSZ.双面超导薄膜零电阻温度 TC=89～91K,临界电流密度 JC≥106A/cm2(77K,零场下),微波表面电阻 RS＜1 mΩ(77K,10GHz).对不同氧氩比下制备的双面膜进行了性能的比较.当 O2:Ar=1:2.5,衬底温度在 800℃时,制备出了高质量的双面超导薄膜.同时对双面超导薄膜进行了微结构分析.用制备的 25mm×20mm 双面膜研制成功中频滤波器,中心频率为1.06 GHz 时,插损为 0.67 dB.
关键词:
磁控溅射
,
双面超导薄膜
,
性能
,
微结构
