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一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器

韩晓峰 , 吴亚明

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.03.017

设计并制造了一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器,其调制区采用了独特的双脊型PIN结构,增强了注入电流场与光场的重叠,提高电注入效率.该VOA可实现20dB的光功率衰减量,所需要的最大功率为650mW,器件的片内插入损耗约为3.6dB.

关键词: SOI材料 , 可调谐光衰减器 , 双脊型波导

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