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磁控溅射制备Co/Cu/FeNi三端结器件

任妙娟 , 季刚 , 陈延学 , 宋红强 , 梅良模 , 刘宜华

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.03.022

用磁控溅射及光刻工艺制成了 5μ m× 5μ m 的 Co/Cu/FeNi三端结器件,测量了不同注入电流下样品的输出电压与外磁场的关系,发现其输出电压与外磁场的关系曲线表明样品具有自旋相关的双极输出信号,双极输出信号可达 17μ V.测量了输出电压与注入电流的关系,发现二者在电流比较小时呈线性变化,当电流比较大时偏离线性.

关键词: 磁控溅射 , 三端结器件 , 双极性输出

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