材料期刊网

双层金属上电极Pt-Ag对场助热电子发射阴极发射性能的影响

梁晶晶 , 李德杰

材料导报

实验研究了采用双层金属上电极Pt-Ag相对于单层金属上电极Au,对金属-绝缘体-半导体-金属(MI-SM)场助热电子发射阴极发射性能方面的改善,并讨论了双层金属上电极各层金属厚度、退火处理对其发射性能的影响.通过优化Pt-Ag上电极内层Pt膜厚度制备的阴极样品,其电子发射率退火前为1.8×10-4,退火后提高到7.2×10-4.

关键词: 场发射 , 双层金属上电极 , 发射率 , 退火